• 2022-05-31
    以下方法可用来制备砷化镓薄膜的有( )。
    A: 液相外延技术
    B: 金属有机化学气相沉积技术
    C: 分子束外延技术
    D: 以上都是
  • A,B,C,D

    内容

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      以下属于多晶硅薄膜直接制备法的有( )。 A: 液相外延(LPE)法 B: 化学气相沉积(CVD)法 C: 等离子增强化学气相沉积(PECVD)法 D: 低压化学气相沉积(LPCVD)

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      在实际利用液相外延技术生长砷化镓薄膜的过程中,衬底材料与外延材料可能不一致,由于二者的晶格常数不同,会存在( )失配。

    • 2

      金属有机化学气相沉积______ 是以______ 和烷类气体为原料进行化学气相沉积生长单晶薄膜的一种技术。

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      常见的物理气相沉积技术有。? 离子镀膜|分子束外延技术|真空蒸镀|溅射镀膜

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      化学气相沉积直接制备多晶硅薄膜的方法有()。 A: 热丝化学气相沉积制备多晶硅 B: 低压化学气相沉积制备多晶硅 C: 非晶硅晶化制备多晶硅薄膜 D: 等离子增强化学气相沉积