MEMS系统主要包括微型机构、（）和（）以及相应的处理电路几个部分组成？______ ______
微型传感器:)微型执行器
举一反三
内容
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叙述MEMS（微型机电系统）的基本特征，目前有哪些微型机械加工技术？
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MEMS是微机电系统的英文缩写。它是由（）等部件组成的一体化的微型器件系统 A: 微传感器 B: 微执行器 C: 信号处理和控制电路 D: 通讯接口和电源
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N十一3()系统是指利用大规模集成电路制造工艺,经过微米级加工,得到的集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。MEMS技术属于物联网的信息采集层技术。 A: 微电 B: 微机 C: 微电脑 D: 微机电
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微型计算机硬件系统主要由__________、___________、__________和__________四部分组成。
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微型计算机硬件系统有,,,,5个部分组成。