中国大学MOOC: 分辨率为10000条（线）/mm的光刻，其特征线宽是 nm
举一反三
- 特征线宽为20nm时，光刻图形的分辨率是 条/mm
- 现有一台K1为0.48，数值孔径（NA）为0.62，使用i线（波长365nm）曝光的光刻机，那么它的分辨率是______ nm，______ （能/不能）使用它光刻最小线宽为200nm的图形；如果将该光刻机光源改为KrF准分子激光（波长为248nm），那么______ （能/不能）使用它光刻最小线宽为200nm的图形。
- 中国大学MOOC: 通常，光刻的分辨率与波长之间的关系是
- 中国大学MOOC: 下面哪些选项可以提高光刻技术的分辨率？（）
- 对一块宽度为50.0 mm，刻线数为1200 条/mm的光栅，它的一级光谱的分辨能力为______ ？在6000 埃附近能分辨的两条谱线的波长差为______