现有一台K1为0.48，数值孔径（NA）为0.62，使用i线（波长365nm）曝光的光刻机，那么它的分辨率是______ nm，______ （能/不能）使用它光刻最小线宽为200nm的图形；如果将该光刻机光源改为KrF准分子激光（波长为248nm），那么______ （能/不能）使用它光刻最小线宽为200nm的图形。
举一反三
- 中国大学MOOC: 分辨率为10000条（线）/mm的光刻，其特征线宽是 nm
- 显微镜的数值孔径nsinu=1.0，如用波长为500纳米的光源照明，则显微镜能分辨的两物点之间的最小距离为 A: 105 nm B: 200 nm C: 305 nm D: 400 nm
- 常用光刻中光源的波长范围是()。 A: 100~300 nm B: 300~500 nm C: 500~700 nm
- 紫外线杀菌的最佳波长为 A: 200nm B: 265 nm C: 650 nm D: 560 nm
- 紫外光的波长范围为（ ）。 A: 1~200 nm B: 200~400 nm C: 400~760 nm D: 200~760 nm