曝光波长的缩短可以使光刻分辨率线性提高，但同时会使焦深线性减小。如果增大投影物镜的数值孔径，那么在提高光刻分辨率的同时，投影物镜的焦深也会急剧减小，因此在分辨率和焦深之间必须折衷。
举一反三
- 显微镜物镜的衍射分辨率与波长和数值孔径有关，提高显微镜的衍射分辨率，可以减小折射率，减小孔径角，增大波长。
- 可以采取哪种方法来提高光刻分辨率？ A: 缩短光源波长； B: 减小光学系统数值孔径； C: 减小分辨率系数; D: 增长光源波长； E: 增大光学系统数值孔径； F: 增大分辨率系数。
- 在金相显微镜的物镜光学技术参数中，描述物镜聚光能力和分辨率的是（ ）。 A: 分辨率 B: 数值孔径 C: 放大率 D: 焦深
- 焦深是物镜对高低不一致的物体能够清晰成像的距离，（ ）。 A: 物镜的数值孔径越大，其焦深越大 B: 物镜的数值孔径越小，其焦深越小 C: 物镜的数值孔径越小，其焦深越大 D: 物镜的数值孔径越大，其焦深越小
- 焦深是物镜对高低不一致的物体能够清晰成像的距离，（ ）。 A: 物镜的数值孔径越大，其焦深越大 B: 物镜的数值孔径越小，其焦深越小 C: 物镜的数值孔径越小，其焦深越大 D: 物镜的数值孔径越大，其焦深越小