可以采取哪种方法来提高光刻分辨率？
A: 缩短光源波长；
B: 减小光学系统数值孔径；
C: 减小分辨率系数;
D: 增长光源波长；
E: 增大光学系统数值孔径；
F: 增大分辨率系数。
A: 缩短光源波长；
B: 减小光学系统数值孔径；
C: 减小分辨率系数;
D: 增长光源波长；
E: 增大光学系统数值孔径；
F: 增大分辨率系数。
举一反三
- 显微镜物镜的衍射分辨率与波长和数值孔径有关，提高显微镜的衍射分辨率，可以减小折射率，减小孔径角，增大波长。
- 提高投影式曝光分辨率的三种主要途径是() A: 缩短曝光波长 B: 增大K系数 C: 减小K系数 D: 增大数值孔径
- 浸入式光刻技术可以使193nm光刻工艺的最小线宽减小到45nm以下。它通过采用折射率高的液体代替透镜组件间的空气，达到（）的目的。 A: 增大光源波长； B: 减小光源波长； C: 减小光学系统数值孔径； D: 增大光学系统数值孔径。
- 提高显微镜的分辨率，以下措施错误的是（）。 A: 增加明暗反差 B: 使用短波长光源 C: 缩小孔径角 D: 增大孔径角 E: 提高数值孔径值
- 关于普通光学显微镜的分辨率,下列说法错误的是 A: 显微镜观察到的是放大的图像,清晰度由分辨率决定 B: 分辨率越小,分辨能力越高 C: 所用光源波长越小,分辨率越小 D: 数值孔径越小,分辨率越小