热生长SiO2–Si系统中的电荷有哪些?
举一反三
- Si/SiO2系统的4种电荷,能与半导体交换载流子的是 A: SiO2中的可动离子 B: SiO2中的固定电荷 C: SiO2中的陷阱电荷 D: Si/SiO2界面的快界面态
- 硅的还原顺序是SiO2→SiO→Si。
- Si/SiO2体系中,氧化层内的固定电荷都是正的。
- 中国大学MOOC: 下面哪些说法是正确的() ⑴ 热生长SiO2只能在Si衬底上生长 ⑵ CVD SiO2可以淀积在硅衬底上,也可以淀积在金属、陶瓷、及其它半导体材料上 ⑶ CVD SiO2,衬底硅不参加反应 ⑷ CVD SiO2,温度低
- 下面哪些说法是正确的() ⑴ 热生长SiO2只能在Si衬底上生长 ⑵ CVD SiO2可以淀积在硅衬底上,也可以淀积在金属、陶瓷、及其它半导体材料上 ⑶ CVD SiO2,衬底硅不参加反应 ⑷ CVD SiO2,温度低 A: ⑴⑵ B: ⑵⑷ C: ⑴⑵⑷ D: ⑴⑵⑶⑷