中国大学MOOC: 硅片制备中的倒角工艺是为了磨掉硅片边缘的棱角,使之变光滑的技术,国际上倒角的规格没有特殊要求,只要光滑即可。
举一反三
- 硅片制备中的倒角工艺是为了磨掉硅片边缘的棱角,使之变光滑的技术,国际上倒角的规格没有特殊要求,只要光滑即可。 A: 正确 B: 错误
- 为了去除表面的杂质、缺陷,进一步去除硅片表面微量的损伤层,需要进行的工艺是 A: 倒角 B: 磨片 C: 化学腐蚀 D: CMP
- 为了去除表面的杂质、缺陷,进一步去除硅片表面微量的损伤层,需要进行的工艺是 。 A: CMP B: 研磨 C: 倒角 D: 化学腐蚀
- 冲裁凸、凹模的工作边缘要求有()。 A: 尖锐的刃口 B: 光滑的圆角 C: 45°倒角
- 下面选项中不属于晶圆制备中的整型处理的是()。 A: 倒角 B: 去掉两端 C: 径向研磨 D: 硅片定位边和定位槽