中国大学MOOC: 在金属铜的双大马士革铜抛光工艺中,研磨通常包括下面哪几步?()
举一反三
- 中国大学MOOC: 双大马士革铜抛光工艺中可能出现的缺陷有()。
- 在金属铜的双大马士革铜抛光工艺中,研磨通常包括下面哪几步?() A: 磨掉晶圆表面的大部分金属 B: 降低研磨速率的方法精磨与阻挡层接触的金属,并通过终点侦测使研磨停在阻挡层上 C: 磨掉阻挡层以及少量的介质氧化物 D: 用大量的去离子水(DIW)清洗研磨垫和晶圆两侧表面
- 中国大学MOOC: 铜互连的大马士革工艺中采用以下哪种技术
- 双大马士革铜抛光工艺中可能出现的缺陷有()。 A: 一定会有大面积的凹陷出现 B: 存在铜的侵蚀 C: 会产生许多表面污染颗粒、表面铜残留和BTA的残余 D: 金属氧化物上的金属残留物可能导致电学短路
- 中国大学MOOC: 金属铝互连时,常常采用双大马士革工艺。