关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2022-10-27 双大马士革铜抛光工艺中可能出现的缺陷有（）。 A: 一定会有大面积的凹陷出现 B: 存在铜的侵蚀 C: 会产生许多表面污染颗粒、表面铜残留和BTA的残余 D: 金属氧化物上的金属残留物可能导致电学短路 双大马士革铜抛光工艺中可能出现的缺陷有（）。A: 一定会有大面积的凹陷出现B: 存在铜的侵蚀C: 会产生许多表面污染颗粒、表面铜残留和BTA的残余D: 金属氧化物上的金属残留物可能导致电学短路 答案： 查看 举一反三 中国大学MOOC: 双大马士革铜抛光工艺中可能出现的缺陷有（）。 中国大学MOOC: 在金属铜的双大马士革铜抛光工艺中，研磨通常包括下面哪几步？（） 在金属铜的双大马士革铜抛光工艺中，研磨通常包括下面哪几步？（） A: 磨掉晶圆表面的大部分金属 B: 降低研磨速率的方法精磨与阻挡层接触的金属，并通过终点侦测使研磨停在阻挡层上 C: 磨掉阻挡层以及少量的介质氧化物 D: 用大量的去离子水（DIW）清洗研磨垫和晶圆两侧表面 纯铜是金属，表面形成氧化膜后呈紫色 下列金属能在空气中表面形成一层致密氧化物薄膜的是（ ） A: 铁 B: 铜 C: 铝 D: 镁
