SiO2的湿法刻蚀溶液中加入 物质,可以减缓刻蚀速率。
举一反三
- SiO2的湿法刻蚀溶液中,可以减缓刻蚀的物质是:
- 二氧化硅刻蚀时,加入NH4F的,开始刻蚀时,对刻蚀速率影响的作用是: A: 加快 B: 减缓 C: 不变 D: 不确定
- 干法刻蚀和湿法刻蚀二者中,通常()的刻蚀选择比较高,()的刻蚀通常是各向异性。 A: 湿法刻蚀 干法刻蚀 B: 干法刻蚀 湿法刻蚀 C: 湿法刻蚀 湿法刻蚀 D: 干法刻蚀 干法刻蚀
- 4.7 湿法刻蚀的刻蚀槽中加入的化学试剂有
- 用KOH进行各向异性湿法刻蚀时,硅的不同晶向在溶液中的刻蚀速率不同,刻蚀速率比约为:[110]:[100]:[111]=______ :______ :1。