关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2022-10-28 用KOH进行各向异性湿法刻蚀时，硅的不同晶向在溶液中的刻蚀速率不同，刻蚀速率比约为：[110]：[100]：[111]=______ ：______ ：1。 用KOH进行各向异性湿法刻蚀时，硅的不同晶向在溶液中的刻蚀速率不同，刻蚀速率比约为：[110]：[100]：[111]=______ ：______ ：1。 答案： 查看 举一反三 干法刻蚀和湿法刻蚀二者中，通常（）的刻蚀选择比较高，（）的刻蚀通常是各向异性。 A: 湿法刻蚀 干法刻蚀 B: 干法刻蚀 湿法刻蚀 C: 湿法刻蚀 湿法刻蚀 D: 干法刻蚀 干法刻蚀 SiO2的湿法刻蚀溶液中加入 物质，可以减缓刻蚀速率。 写出立方晶系[100]、[111]和[110]晶向族包括的晶向： 干法刻蚀和湿法刻蚀二者中，通常（）的刻蚀选择比较高，（）的刻蚀通常是各向异性。 下面选项中属于刻蚀的主要参数的有（）等。 A: 刻蚀速率和刻蚀因子 B: 刻蚀选择比 C: 刻蚀均匀性和良好形貌 D: 各向同性与各向异性
