中国大学MOOC: 关于离子注入区形成非晶层的临界剂量,下面哪几种说法正确:
举一反三
- 关于离子注入区形成非晶层的临界剂量,下面哪几种说法正确: A: 注入离子越轻,临界剂量越小; B: 靶温升高,临界剂量上升; C: 注入离子能量越高,临界剂量越低; D: 注入离子剂量率增大,临界剂量降低。
- 关于离子注入区形成非晶层的临界剂量,下面哪几种说法正确: A: 靶温升高,临界剂量上升; B: 注入离子剂量率增大,临界剂量降低。 C: 注入离子能量越高,临界剂量越低; D: 注入离子越轻,临界剂量越小;
- 关于离子注入区形成非晶层的临界剂量,下面哪几种说法正确: A: 靶温升高,临界剂量上升; B: 注入离子剂量率增大,临界剂量降低。 C: 注入离子能量越高,临界剂量越低; D: 注入离子越轻,临界剂量越小;
- 关于离子注入,说法错误的是() A: 离子注入可以制备超浅结 B: 增大注入剂量,有可能形成非晶层 C: 原子越重,核阻止越大 D: 高能离子,以核阻止为主
- 离子注入晶格出现非晶层的剂量称为:______ 。