• 2022-10-27
    关于离子注入区形成非晶层的临界剂量,下面哪几种说法正确:
    A: 靶温升高,临界剂量上升;
    B: 注入离子剂量率增大,临界剂量降低。
    C: 注入离子能量越高,临界剂量越低;
    D: 注入离子越轻,临界剂量越小;