中国大学MOOC: 刻蚀异常的硅片，处理方法是（ ）
举一反三
- 刻蚀异常的硅片，处理方法是（ ） A: 重新刻蚀 B: 返回扩散 C: 返回制绒 D: 报废
- 中国大学MOOC: 刻蚀的方法有两类：湿法刻蚀和干法刻蚀，其中，（）是利用液体化学试剂以化学形式除去硅片表面材料。而（）是利用等离子体辅助来进行刻蚀的技术，刻蚀反应中不涉及液体。
- 中国大学MOOC: 刻蚀是用化学方法或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要材料的工艺过程，其基本目是： 。
- 中国大学MOOC: 题3-1-7 刻蚀是用化学方法或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要材料的工艺过程，其基本目标是： 。
- 中国大学MOOC: 大尺寸硅片上生长的 的不均匀和各个部位刻蚀速率的不均匀会导致刻蚀图形转移的不均匀性 。