关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2022-10-27 采用离心力来填充图形地处，温度比较低，能够获得表面形貌的平滑效果的平坦化技术是 A: 高温回流 B: 反刻 C: SOG D: CMP 采用离心力来填充图形地处，温度比较低，能够获得表面形貌的平滑效果的平坦化技术是A: 高温回流B: 反刻C: SOGD: CMP 答案： 查看 举一反三 中国大学MOOC: 采用离心力来填充图形地处，温度比较低，能够获得表面形貌的平滑效果的平坦化技术是 铜互连的大马士革工艺中采用以下哪种技术 A: 反刻 B: 高温回流 C: SOG D: CMP 局部平坦化的特点是在一定范围的硅片表 面上实现平坦化，主要技术为（）法。 A: 旋涂玻璃 (SOG)法 B: 化学机械抛光CMP法 C: 玻璃回流法 D: 回刻技术 以下几种平坦化方法中,应用于大马士革铜互连工艺的是: A: 反刻 B: 高温回流 C: 旋涂玻璃法 D: CMP 下列选项中（）不属于传统平坦化技术范畴。 A: 反刻 B: 玻璃回流 C: 旋涂膜层 D: CMP
