• 2022-10-26
    制备多晶硅薄膜的CVD方法可分为高温工艺和低温工艺两种。高温工艺中,衬底温度超过600℃,以廉价普通玻璃为衬底;低温工艺的衬底温度低于600℃,以昂贵的石英玻璃等作衬底。