• 2022-10-26
    Si3N4薄膜在集成电路中的应用主要有:⑴ 钝化膜 ⑵ 选择氧化 ⑶电容介质 由于氮化硅氧化速率极低,因此被用作( )的掩蔽膜。
    A: ⑴
    B: ⑵
    C: ⑶
    D: ⑴⑵