关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2022-10-26 氮化硅钝化原理是薄膜中的（）对衬底硅中的杂质和缺陷钝化。 A: O B: Si C: N D: H 氮化硅钝化原理是薄膜中的（）对衬底硅中的杂质和缺陷钝化。A: OB: SiC: ND: H 答案： 查看 举一反三 除了Si和N,减反射膜中的氮化硅一般还包含一定比例的(),其可以起到钝化作用,复合硅片体内的缺陷。 A: 氧原子 B: 氢原子 C: 硅原子 D: 氮化硅原子 PECVD常见的形成的薄膜名称是（）。 A: 氧化硅 B: 氮化硅 C: 硅 D: 氧化铝 硅衬底上淀积氮化硅之前必须先制备一层薄薄的氧化硅作为缓冲层。 CVD中为了保持非晶硅特性，需要添加的元素是（） A: N B: H C: Si D: O Si3N4薄膜在集成电路中的应用主要有：⑴ 钝化膜 ⑵ 选择氧化 ⑶电容介质 由于氮化硅氧化速率极低，因此被用作（ ）的掩蔽膜。 A: ⑴ B: ⑵ C: ⑶ D: ⑴⑵
