• 2022-10-26
    除了Si和N,减反射膜中的氮化硅一般还包含一定比例的(),其可以起到钝化作用,复合硅片体内的缺陷。
    A: 氧原子
    B: 氢原子
    C: 硅原子
    D: 氮化硅原子