• 2022-10-26
    在半导体工艺中,与氮化硅比较,二氧化硅更适合应用在()。
    A: A晶圆顶层的保护层
    B: B多层金属的介质层
    C: C多晶硅与金属之间的绝缘层
    D: D掺杂阻挡层
    E: E晶圆片上器件之间的隔离