属于湿法刻蚀的优点的是( )。
A: 各向同性
B: 各向异性
C: 提高刻蚀的选择比
D: 不产生衬底损伤
A: 各向同性
B: 各向异性
C: 提高刻蚀的选择比
D: 不产生衬底损伤
举一反三
- 以下各项描述中不属于湿法刻蚀的特点的是（）。 A: 高刻蚀的选择比 B: 低刻蚀的选择比 C: 不产生衬底损伤 D: 各向同性刻蚀，刻蚀后的线条宽度难以控制
- 干法刻蚀和湿法刻蚀二者中，通常（）的刻蚀选择比较高，（）的刻蚀通常是各向异性。 A: 湿法刻蚀 干法刻蚀 B: 干法刻蚀 湿法刻蚀 C: 湿法刻蚀 湿法刻蚀 D: 干法刻蚀 干法刻蚀
- 干法刻蚀和湿法刻蚀二者中，通常（）的刻蚀选择比较高，（）的刻蚀通常是各向异性。
- 下面选项中属于刻蚀的主要参数的有（）等。 A: 刻蚀速率和刻蚀因子 B: 刻蚀选择比 C: 刻蚀均匀性和良好形貌 D: 各向同性与各向异性
- 中国大学MOOC: 干法刻蚀和湿法刻蚀二者中，通常（）的刻蚀选择比较高，（）的刻蚀通常是各向异性。