干法刻蚀和湿法刻蚀二者中,通常()的刻蚀选择比较高,()的刻蚀通常是各向异性。
湿法刻蚀 干法刻蚀
举一反三
内容
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⑰ 湿法刻蚀与干法刻蚀的比较错误的是 A: 、湿法刻蚀是各向同性的,干法刻蚀是各向异性的 B: 、湿法刻蚀由于存在侧蚀现象,不宜制作很微细的图形 C: 、干法刻蚀效果好,但工艺要求高 D: 、干法和湿法刻蚀都不存在晶体缺陷和污染等物理损伤
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一般湿法刻蚀是各同异性,而干法刻蚀则是各向异性。( )
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两种刻蚀方法中,属于各向同性刻蚀的是: A: 干法刻蚀 B: 湿法刻蚀 C: 离子刻蚀 D: 溅射刻蚀
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微细加工技术中的刻蚀工艺可分为()。 A: 湿法刻蚀 B: 干法刻蚀、 C: 混合刻蚀
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在刻蚀工艺中,具有最高选择性的刻蚀工艺是 A: 等离子体刻蚀 B: 干法刻蚀 C: 湿法刻蚀 D: 物理刻蚀