• 2022-10-27
    中国大学MOOC: 热扩散工艺中扩散结深通常采用()和()两种方法进行测量。
  • 磨槽染色法 磨角染色法

    内容

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      实际扩散工艺通过调整炉温比调整扩散时间对结深的影响更大。

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      中国大学MOOC: 硅恒定源扩散,在扩散温度硅的固溶度为Ns,在进行了40min扩散后,测得结深是1.5μm,若要获得2.0μm的结深,在原工艺基础上应再扩散多少分钟?硅表面杂质浓度是多少?

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      实际扩散工艺通过调整炉温比调整扩散时间对结深的影响更大。 A: 正确 B: 错误

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      中国大学MOOC: 掺杂中的两步扩散法的第一步是采用恒定表面源扩散的方式,第二步是采用()扩散方法。

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      中国大学MOOC: 扩散工艺中杂质浓度分布的测量可以采用()法测试。