在干法刻蚀中发生刻蚀反应的三种方法是（ ）、（ ）和（ ）。
A: 化学作用
B: 物理作用
C: 化学作用与物理作用混合
D: 其他选项都不正确
A: 化学作用
B: 物理作用
C: 化学作用与物理作用混合
D: 其他选项都不正确
举一反三
- RIE刻蚀反应的过程为: A: 物理作用 B: 化学作用 C: 既有物理作用,又有化学作用 D: 无作用
- 反应离子刻蚀进行刻蚀过程中 A: 既有物理作用，又有化学作用 B: 物理作用 C: 化学作用 D: 既不是物理作用也不是化学作用
- 活性污泥法净化废水的过程分为（）和（） A: 物理作用、化学作用 B: 物理作用、生化作用 C: 化学作用、生化作用 D: 物理作用、化学作用、生化作用
- 反应离子刻蚀是 A: 化学刻蚀机理 B: 物理刻蚀机理 C: 物理的溅射刻蚀和化学的反应刻蚀相结合
- 水泥与土之间的物理和化学作用大致可分为()方面。 A: 硬凝反应 B: 离子交换作用 C: 碳酸化作用 D: 化学激发作用