由于注入的束流尺寸比较小,一般小于晶圆尺寸,因此注入时需要离子注入系统中的:
A: 束流聚焦系统
B: 吸极
C: 磁分析器
D: 束流扫描
A: 束流聚焦系统
B: 吸极
C: 磁分析器
D: 束流扫描
举一反三
- 若需要将离子聚焦为小尺寸或者平行束流,需要离子注入系统中的: A: 束流聚焦系统 B: 吸极 C: 磁分析器 D: 中性束流陷阱
- 能够挑选出唯一需要注入的离子,属于离子注入系统中的: A: 离子源 B: 吸极 C: 磁分析器 D: 中性束流陷阱
- 能够将注入的离子偏转方向,然后收集中性原子的是子注入系统中的: A: 离子源 B: 吸极 C: 磁分析器 D: 中性束流陷阱
- 能够并将注入的离子偏转方向,然后收集中性原子的是子注入系统中的 A: 离子源 B: 吸极 C: 中性束流陷阱 D: 磁分析器
- 离子注入系统中,从离子源引出的各种离子中分析出所需要注入的离子,成为单一元素的离子束的部件是 A: 离子源 B: 聚焦系统 C: 中性束流陷阱 D: 磁分析器