若需要将离子聚焦为小尺寸或者平行束流,需要离子注入系统中的:
A: 束流聚焦系统
B: 吸极
C: 磁分析器
D: 中性束流陷阱
A: 束流聚焦系统
B: 吸极
C: 磁分析器
D: 中性束流陷阱
A
举一反三
- 由于注入的束流尺寸比较小,一般小于晶圆尺寸,因此注入时需要离子注入系统中的: A: 束流聚焦系统 B: 吸极 C: 磁分析器 D: 束流扫描
- 能够挑选出唯一需要注入的离子,属于离子注入系统中的: A: 离子源 B: 吸极 C: 磁分析器 D: 中性束流陷阱
- 离子注入系统中,从离子源引出的各种离子中分析出所需要注入的离子,成为单一元素的离子束的部件是 A: 离子源 B: 聚焦系统 C: 中性束流陷阱 D: 磁分析器
- 能够将注入的离子偏转方向,然后收集中性原子的是子注入系统中的: A: 离子源 B: 吸极 C: 磁分析器 D: 中性束流陷阱
- 能够并将注入的离子偏转方向,然后收集中性原子的是子注入系统中的 A: 离子源 B: 吸极 C: 中性束流陷阱 D: 磁分析器
内容
- 0
气体电离产生的离子,称为离子源,系统中负责将正负离子分离开的是: A: 离子源 B: 吸极 C: 磁分析器 D: 中性束流陷阱
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能够使注入的离子偏转，中性原子被收集的是 A: 聚焦系统 B: 扫描四通 C: 中性束流陷阱 D: 扫描系统
- 2
能够使注入的离子偏转，中性原子被收集的是 A: 磁分析器 B: 中性束流陷阱 C: 加速管 D: 扫描系统
- 3
磁分析器挑选出来的离子，为了达到所需要的能量，通过要经过 A: 加速器或者加速管 B: 聚焦系统 C: 偏束板 D: 扫描系统
- 4
能够挑选出唯一需要注入离子的部分是 A: 聚焦系统 B: 扫描系统 C: 离子源 D: 磁分析器