根据平坦化的程度不同分为以下几种（术语）
A: 平滑处理
B: 部分平坦化
C: 局部平坦化
D: 全局平坦化
A: 平滑处理
B: 部分平坦化
C: 局部平坦化
D: 全局平坦化
A,B,C,D
举一反三
内容
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化学机械平坦化，简称CMP，它是一种表面全局平坦化技术。 A: 正确 B: 错误
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中国大学MOOC: 化学机械平坦化，简称CMP，它是一种表面全局平坦化技术。
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反刻是一种传统的平坦化技术，它能够实现全局平坦化。 A: 正确 B: 错误
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高温回流平坦化可应用于金属层间介质的平坦化
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下面关于化学机械抛光技术CMP的叙述正确的选项是（）。 A: 平坦化不同的材料，各种各样的硅片表面能被平坦化 B: 在同一次抛光过程中对平坦化多层材料有用 C: 能获得全局平坦化 D: 由于减小了表面起伏，从而能改善金属台阶覆盖