• 2022-10-27
    以下关于离子注入优点的选项中,()的说话是错误的。
    A: 离子注入能够重复控制杂质的浓度和深度,因而在几乎所有应用中都优于扩散。
    B: 横向扩散现象很小
    C: 很好的杂质均匀性
    D: 注入杂质的纯度高,属于低温工艺