关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2022-10-27 离子注入与扩散工艺相比，具有很好的均匀性，注入杂质纯度比较高。 A: 正确 B: 错误 离子注入与扩散工艺相比，具有很好的均匀性，注入杂质纯度比较高。A: 正确B: 错误 答案： 查看 举一反三 中国大学MOOC: 离子注入与扩散工艺相比，具有很好的均匀性，注入杂质纯度比较高。 以下关于离子注入优点的选项中，（）的说话是错误的。 A: 离子注入能够重复控制杂质的浓度和深度，因而在几乎所有应用中都优于扩散。 B: 横向扩散现象很小 C: 很好的杂质均匀性 D: 注入杂质的纯度高，属于低温工艺 以下是离子注入过程中的主要工艺参数的是( )。 A: 注入均匀性 B: 离子注入剂量 C: 离子射程 D: 束流密度 离子注入与扩散相比，哪种工艺造成的杂质的横向扩散更小。 A: 离子注入 B: 扩散 C: 不确定 例举离子注入工艺和扩散工艺相比的优点和缺点。
