• 2022-06-05
    如下几种互连材料中,电阻率最大的是 。
    A: 材料选用上,采用低阻互连材料,如铜取代铝;
    B: 引入硅化物工艺;
    C: 减少互连层数,减小平均联系长度;
    D: 增加互连层数,减小平均连线长度;