题目:离子注入表面改性铁基非晶合金摩擦磨损行为研究
关键词:铁基非晶合金;离子注入;摩擦磨损;SRV
举一反三
- 磁性非晶合金可以从化学成分上分为下列几类(); A: 铁基非晶 B: 铁镍基非晶 C: 钴基非晶 D: 铁基纳米晶 E: 锌纳米晶
- 题目:Fe-Metalloid系非晶/纳米晶合金的形成与性能研究
- 离子注入工艺过程中,下列避免通道效应的方法不包括 A: 晶圆倾斜注入 B: 晶圆表面生长屏蔽氧化层 C: 充分利用表面非晶态薄层 D: 高温退火
- 抑制离子注入过程中的沟道效应的措施有()。 A: 偏转注入或倾斜硅片 B: 在衬底表面制作掩膜氧化薄层(非结晶材料),使入射离子进入硅晶体前无序化 C: 提高离子注入的速度 D: 衬底的预非晶化处理(破坏表面结晶层)
- 离子注入时,避免沟道效应的措施有。 A: 使离子的入射方向偏离沟道方向 7 一 10 度 B: 在掺杂注入前先用高剂量的 Si 、 Ge、 F 或 Ar 离子注入来使硅表面预非晶化 C: 在掺杂注入前硅表面生长一层薄 Si02 层 D: 降低靶的温度。
内容
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关于离子注入区形成非晶层的临界剂量,下面哪几种说法正确: A: 注入离子越轻,临界剂量越小; B: 靶温升高,临界剂量上升; C: 注入离子能量越高,临界剂量越低; D: 注入离子剂量率增大,临界剂量降低。
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关于离子注入区形成非晶层的临界剂量,下面哪几种说法正确: A: 靶温升高,临界剂量上升; B: 注入离子剂量率增大,临界剂量降低。 C: 注入离子能量越高,临界剂量越低; D: 注入离子越轻,临界剂量越小;
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关于离子注入区形成非晶层的临界剂量,下面哪几种说法正确: A: 靶温升高,临界剂量上升; B: 注入离子剂量率增大,临界剂量降低。 C: 注入离子能量越高,临界剂量越低; D: 注入离子越轻,临界剂量越小;
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对于非晶靶,离子注入的射程分布取决于()。 A: 入射离子的能量 B: 入射离子的质量 C: 入射离子的原子序数 D: 靶原子的质量、原子序数、原子密度 E: 注入离子的总剂量
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关于离子注入,说法错误的是() A: 离子注入可以制备超浅结 B: 增大注入剂量,有可能形成非晶层 C: 原子越重,核阻止越大 D: 高能离子,以核阻止为主