从电光转换效率评估,下列转换效率高的是（） A: CO B: YAG C: CO2 D: KrF

现有一台K1为0.48，数值孔径（NA）为0.62，使用i线（波长365nm）曝光的光刻机，那么它的分辨率是______ nm，______ （能/不能）使用它光刻最小线宽为200nm的图形；如果将该光刻机光源改为KrF准分子激光（波长为248nm），那么______ （能/不能）使用它光刻最小线宽为200nm的图形。

下列关于稀有气体化合物的叙述中，错误的是（） A: 稀有气体原子在一般条件下不易与其他原子形成化学键，故稀有气体化合物的数目极其有限 B: KrF易挥发，具有强氧化性，可通过放电反应合成 C: 氙的氟化物和氧化物都是强氧化剂，能将许多物质氧化 D: 氟化氙遇水都发生剧烈反应，生成单质氙和HF