中国大学MOOC: 投影式光刻技术主要包括
扫描步进投影 步进投影 扫描投影
举一反三
内容
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中国大学MOOC: 光刻技术中的曝光方式主要包括下面哪几种？（）。
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先进集成电路加工中，主要采用投影式光刻曝光技术。
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中国大学MOOC: 光刻技术中的曝光方式主要包括下面哪三种？（）
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简述接触式光刻、接近式光刻及投影式光刻的优缺点。
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当前，数字投影微光刻技术的主要局限在于