关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2022-05-30 投影式光刻技术主要包括 A: 扫描投影 B: 步进投影 C: 扫描步进投影 D: 接触投影 投影式光刻技术主要包括A: 扫描投影B: 步进投影C: 扫描步进投影D: 接触投影 答案： 查看 举一反三 中国大学MOOC: 投影式光刻技术主要包括 光刻技术中的曝光方式主要包括下面哪几种？（）。 A: 压印式光刻 B: 投影式光刻 C: 接近式光刻 D: 接触式光刻 光刻技术中的曝光方式主要包括下面哪三种？（） A: 接触式光刻 B: 接近式光刻 C: 投影式光刻 D: 压印式光刻 简述接触式光刻、接近式光刻及投影式光刻的优缺点。 先进集成电路加工中，主要采用投影式光刻曝光技术。
