• 2022-05-30
    根据扩散的过程可以分为
    A: 替位式扩散
    B: 间隙式扩散
    C: 有限源扩散
    D: 恒定源扩散
  • C,D

    内容

    • 0

      杂质在硅晶体中的扩散机制主要有两种:间隙式扩散、替位式扩散。其中间隙式扩散比替位式扩散困难。

    • 1

      遵循在扩散过程中外界始终提供杂质源,硅片表面浓度恒定规律的扩散方法称之为()。 A: 有限源表面扩散 B: 两步扩散法(包括预扩散和住扩散) C: 恒定源表面扩散 D: 自由式扩散

    • 2

      在扩散工艺中,杂质进入半导体后占据正常的晶格格点,主要是沿着空位向里扩散的方法是()。 A: 替位式扩散 B: 间隙式扩散 C: 自由式扩散 D: 恒定扩散

    • 3

      杂质以恒定的表面杂质浓度源源不断的通入,该扩散过程称为: A: 恒定源扩散 B: 预淀积 C: 有限源扩散 D: 再分布

    • 4

      扩散中有两种不同形式的扩散规律:()和恒定杂质总量的扩散,也叫有限源扩散。