【单选题】PECVD工艺完成后,硅片表面的镀膜颜色发白,下列哪些措施可以缓解这种情况()
A. 增加温度 B. 增加镀膜时间 C. 减少压力 D. 增加NH3流量
A. 增加温度 B. 增加镀膜时间 C. 减少压力 D. 增加NH3流量
举一反三
- 在PECVD镀膜过程中，改变以下哪个参量可增加折射率（）。 A: 增加SIH B: 增加NH C: 增加N D: 增加时间
- 镀膜过程如果发现折射率异常，我们应该如何调整工艺（）。 A: 增加镀膜时间 B: 减少镀膜时间 C: 降低镀膜功率 D: 调整流量
- 6.16 PECVD镀膜后发现薄膜颜色呈浅蓝，是因为镀膜镀薄了
- 【单选题】加力式涡喷发动机采用加力燃烧增加发动机推力的首要原因是 A. 增加发动机排气温度 B. 增加发动机排气速度 C. 增加发动机排气压力 D. 增加发动机流量
- 【单选题】失血性休克早期血细胞比积变化是 A. 减少 B. 增加 C. 先减少后增加 D. 先增加后减少 E. 不变