在PECVD镀膜过程中,改变以下哪个参量可增加折射率()。
A: 增加SIH
B: 增加NH
C: 增加N
D: 增加时间
A: 增加SIH
B: 增加NH
C: 增加N
D: 增加时间
举一反三
- 【单选题】PECVD工艺完成后,硅片表面的镀膜颜色发白,下列哪些措施可以缓解这种情况() A. 增加温度 B. 增加镀膜时间 C. 减少压力 D. 增加NH3流量
- 镀膜过程如果发现折射率异常,我们应该如何调整工艺()。 A: 增加镀膜时间 B: 减少镀膜时间 C: 降低镀膜功率 D: 调整流量
- 以下哪项会增加系统的使用率? A: 服务率的增加 B: 到达率的增加 C: 服务台数的增加 D: 服务时间的减少
- 核心肌群训练的策略以下哪个是错误的()。 A: 增加负荷 B: 增加时间 C: 改变支撑面的稳定性 D: 改变动作的对称性 E: 增加额外的动作
- 以下代码为用户定义的科赫曲线函数,其中有两个参数m和n, A: 增加n将显著增加程序的运行时间 B: 同时增加m和n才能显著增加程序的运行时间 C: 要视m和n的具体数值而定 D: 增加m将显著增加程序的运行时间