PECVD中，等离子体的激励方式有 。
射频电场直流电场微波耦合电子回旋共振
举一反三
- 下列与等离子体态有关的叙述中,正确的有_____。 A: 等离子体态是一种电离气体状态 B: 等离子体对外显电中性 C: 等离子体具有导电特性 D: 等离子体中正、负离子所带电荷数量相等
- PECVD中P指的意思是（）。 A: 高频 B: 气相 C: 增强 D: 等离子体
- pecvd的p指的是（）。 A: 射频 B: 气相 C: 等离子体 D: 增强
- 等离子体增强化学气相淀积的英文缩写是 A: HDPCVD B: PECVD
- LPCVD和PECVD的不同包括: A: LPCVD 主要采用加热的方式提供化学反应的能量 B: PECVD主要采用等离子体提供能量 C: LPCVD温度比较高,只能用于金属前介质的淀积 D: PECVD温度比较低,适合金属间介质的淀积
内容
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()采用增强的等离子体,从而增加淀积能量,降低沉积温度。 A: APCVD B: LPCVD C: PECVD
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下列检索式，命中结果最多的是： A: 等离子 and (制备 or 生产 or 合成) B: "超细等离子体制备" C: 超细 and 等离子体 and 制备 D: 超细 and 等离子 and (制备 or 生产 or 合成)
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缩略语PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名称分别是（）、（）、高密度等离子体化学气相淀积和（）。
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等离子中只包含中性原子、带电离子。
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等离子电弧经过（）、（）和（）三种压缩效应后，能量高度集中在直径很小的弧柱中，弧柱中的气体被充分电离成等离子体，故称为等离子弧。