PECVD中，等离子体的激励方式有 。
举一反三
- 下列与等离子体态有关的叙述中,正确的有_____。 A: 等离子体态是一种电离气体状态 B: 等离子体对外显电中性 C: 等离子体具有导电特性 D: 等离子体中正、负离子所带电荷数量相等
- PECVD中P指的意思是（）。 A: 高频 B: 气相 C: 增强 D: 等离子体
- pecvd的p指的是（）。 A: 射频 B: 气相 C: 等离子体 D: 增强
- 等离子体增强化学气相淀积的英文缩写是 A: HDPCVD B: PECVD
- LPCVD和PECVD的不同包括: A: LPCVD 主要采用加热的方式提供化学反应的能量 B: PECVD主要采用等离子体提供能量 C: LPCVD温度比较高,只能用于金属前介质的淀积 D: PECVD温度比较低,适合金属间介质的淀积