对于离子注入机，下列说法正确的是
A: 离子源负责产生等离子体，其中离子用于后续离子注入。
B: 抑制电极可以有效防止被加速的离子撞击电极产生的二次电子向离子源系统的轰击。
C: 前加速电极用于加速离子并轰击晶圆，后加速电极用于加速离子便于质谱仪提纯。
D: 晶圆表面因离子轰击会积累正电荷，因此极板需接地，中和多余正电荷。
A: 离子源负责产生等离子体，其中离子用于后续离子注入。
B: 抑制电极可以有效防止被加速的离子撞击电极产生的二次电子向离子源系统的轰击。
C: 前加速电极用于加速离子并轰击晶圆，后加速电极用于加速离子便于质谱仪提纯。
D: 晶圆表面因离子轰击会积累正电荷，因此极板需接地，中和多余正电荷。
举一反三
- 有机化合物在电子轰击离子源中产生的离子有（）。 A: 分子离子 B: 同位素离子 C: 碎片离子 D: 中性离子
- 有机化合物在电子轰击离子源中有可能产生哪些类型的离子 A: 分子离子 B: 同位素离子 C: 碎片离子 D: 加和离子
- 分子电离后形成的离子经电场加速从离子源引出，在离子源中离子获得的动能与它的质量、所带电荷和加速电压有关。
- 组成离子氛的有（ ） A: 中心离子和反电荷离子 B: 中心离子和正电荷离子 C: 正电荷离子 D: 反电荷离子
- 离子选择性电极多用于测定低价离子，这是由于（ ）? 测定高价离子带来的测定误差较大|目前不能生产高价离子选择性电极|低价离子选择性电极的选择性好|低价离子选择性电极容易制造