• 2022-06-15
    光刻工艺的特点包括:( )
    A: 光刻工艺过程复杂
    B: 光刻与芯片的价格和性能密切相关
    C: 复印图像和化学作用相结合的综合性技术
    D: 决定特征尺寸的关键工艺