离子注入机可用于微电子线路加工
举一反三
- 离子束加工技术利用注入效应加工的是( )。 A: 离子刻蚀 B: 溅射镀膜 C: 离子镀 D: 离子注入
- 离子注入机根据能量和束流大小可以分为: A: 高能注入机 B: 低能注入机 C: 大束流注入机 D: 中束流注入机
- 离子注入机离子源的作用是把需要注入的元素气态粒子电离成（）。 A: 电子 B: 离子 C: 中子 D: 质子
- 关于离子注入掺杂，说法正确的有（） A: 离子注入对半导体晶格没有损伤 B: 离子注入利用电场来控制离子的注入深度 C: 离子注入利用磁场来筛选注入的离子 D: 将半导体晶片偏转一定的角度可以避免离子注入遇到的沟道效应
- 离子束加工一般用于做什么？（ ）。 A: 直写刻蚀 B: 溅射镀膜 C: 离子注入 D: 离子抛光