离子注入机根据能量和束流大小可以分为:
A: 高能注入机
B: 低能注入机
C: 大束流注入机
D: 中束流注入机
A: 高能注入机
B: 低能注入机
C: 大束流注入机
D: 中束流注入机
举一反三
- 离子注入的过程中,在同样的硅片面积下,注入的束流大小与注入时间直接决定剂量的大小,束流越大、注入时间越长,达到的剂量越大。( )
- 186.离子注入的过程中，在同样的硅片面积下，注入的束流大小与注入时间直接决定剂量的大[br][/br]小，束流越大、注入时间越长，达到的剂量越大。
- 为了降低注入离子对衬底由于热沉积产生的温升，在高剂量、大束流离子注入时，可以采用（）扫描方式，在低剂量、小束流时一般用（）方式注入。
- 看图判断，下列哪种描述正确：[img=980x269]18037d2a7654308.png[/img] A: 图（a）是注入的低能离子； B: 图（a）是注入的高能离子； C: 图（b）是注入的低能离子； D: 图（b）是注入的高能离子。
- 以下是离子注入过程中的主要工艺参数的是( )。 A: 注入均匀性 B: 离子注入剂量 C: 离子射程 D: 束流密度