在外延工艺中,如果膜和衬底材料不一致,例如蓝宝石衬底上长硅膜,这样的膜生长称为( )
A: 同质外延
B: 异质外延
A: 同质外延
B: 异质外延
B
举一反三
内容
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通常氮化镓外延层的生长需要选择蓝宝石或者碳化硅等衬底,属于()。 A: 同质结外延 B: 异质结外延 C: 正外延 D: 反外延
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薄膜外延生长技术是指在单晶衬底上,定向地生长与衬底晶体结构相同或类似的晶态薄层。如果生长材料与衬底成分相同,称为______ 外延;生长材料与衬底成分不同,称为______ 外延。
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高阻衬底材料上生长低阻外延层的工艺称为正向外延。
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外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层,分为同质外延和异质外延两大类。
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高阻衬底材料上生长低阻外延层的工艺称为正向外延。 A: 正确 B: 错误