在外延工艺中，如果膜和衬底材料相同，例如硅衬底上长硅膜，这样的膜生长称为（ ）
A: 同质外延
B: 异质外延
A: 同质外延
B: 异质外延
举一反三
- 在外延工艺中，如果膜和衬底材料不一致，例如蓝宝石衬底上长硅膜，这样的膜生长称为（ ） A: 同质外延 B: 异质外延
- 在外延工艺中，如果膜和衬底材料（），例如硅衬底上长硅膜，这样的膜生长称为（）；反之，膜和衬底材料不一致的情况，例如硅衬底上长氧化铝，则称为（）。
- 在GaAs衬底上外延生长GaAs薄膜,称为()。 A: 同质结外延 B: 异质结外延 C: 正外延 D: 反外延
- 薄膜外延生长技术是指在单晶衬底上,定向地生长与衬底晶体结构相同或类似的晶态薄层。如果生长材料与衬底成分相同,称为______ 外延;生长材料与衬底成分不同,称为______ 外延。
- 外延按化学组成可分为同质外延和异质外延，在蓝宝石上生长硅属于同质外延。 A: 正确 B: 错误