下面哪些选项可以提高光刻技术的分辨率？
A: 移相掩膜技术
B: 邻近效应校正技术
C: 采用浸入式光刻技术
D: 提高光源的波长
A: 移相掩膜技术
B: 邻近效应校正技术
C: 采用浸入式光刻技术
D: 提高光源的波长
A,B,C
举一反三
内容
- 0
关于光刻分辨率,下列哪一种说法是错误的() A: 减小波长可以提高分辨率 B: 采用浸入式光刻可以提高分辨率 C: 使用移相掩膜技术制备的光刻版可以提高分辨率 D: 接近式光刻的分辨率可以达到50nm
- 1
浸入式光刻技术可以提高光刻的分辨率。 A: 正确 B: 错误
- 2
利用透镜将衍射的光聚焦，提高分辨率的方法为 A: 移相掩膜技术 B: 离轴照明技术 C: 利用透镜减少衍射技术 D: 浸润式光刻技术
- 3
中国大学MOOC: 下面哪些选项可以提高光刻技术的分辨率？（）
- 4
关于光学光刻，下列哪种方法可以获得高分辨率？? 使用移相掩膜技术制备的光刻版|光源为紫光|采取浸入式光刻方法|驻波效应对分辨率无影响