以下方法中，哪些可以提高光刻的分辨率
A: 利用透镜减少衍射
B: 移相掩膜技术
C: 临近效应修正技术
D: 离轴照明技术
A: 利用透镜减少衍射
B: 移相掩膜技术
C: 临近效应修正技术
D: 离轴照明技术
举一反三
- 以下方法中，哪些不可以可以提高光刻的分辨率 A: 离轴照明技术 B: 临近效应修正技术 C: 移相掩膜技术 D: 增加波长
- 利用透镜将衍射的光聚焦，提高分辨率的方法为 A: 移相掩膜技术 B: 离轴照明技术 C: 利用透镜减少衍射技术 D: 浸润式光刻技术
- 以下方法中，不可以提高光刻的分辨率的是： 。 A: 增加波长 B: 离轴照明技术 C: 临近效应修正技术 D: 移相掩膜技术
- 以下方法中，不可以提高光刻的分辨率的是： 。 A: 增加波长 B: 离轴照明技术 C: 临近效应修正技术 D: 移相掩膜技术
- 下面哪些选项可以提高光刻技术的分辨率？ A: 移相掩膜技术 B: 邻近效应校正技术 C: 采用浸入式光刻技术 D: 提高光源的波长