以下方法中，哪些不可以可以提高光刻的分辨率
A: 离轴照明技术
B: 临近效应修正技术
C: 移相掩膜技术
D: 增加波长
A: 离轴照明技术
B: 临近效应修正技术
C: 移相掩膜技术
D: 增加波长
D
举一反三
- 以下方法中，不可以提高光刻的分辨率的是： 。 A: 增加波长 B: 离轴照明技术 C: 临近效应修正技术 D: 移相掩膜技术
- 以下方法中，不可以提高光刻的分辨率的是： 。 A: 增加波长 B: 离轴照明技术 C: 临近效应修正技术 D: 移相掩膜技术
- 以下方法中，哪些可以提高光刻的分辨率 A: 利用透镜减少衍射 B: 移相掩膜技术 C: 临近效应修正技术 D: 离轴照明技术
- 下面哪些选项可以提高光刻技术的分辨率？ A: 移相掩膜技术 B: 邻近效应校正技术 C: 采用浸入式光刻技术 D: 提高光源的波长
- 利用透镜将衍射的光聚焦，提高分辨率的方法为 A: 移相掩膜技术 B: 离轴照明技术 C: 利用透镜减少衍射技术 D: 浸润式光刻技术
内容
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关于光刻分辨率,下列哪一种说法是错误的() A: 减小波长可以提高分辨率 B: 采用浸入式光刻可以提高分辨率 C: 使用移相掩膜技术制备的光刻版可以提高分辨率 D: 接近式光刻的分辨率可以达到50nm
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浸入式光刻技术可以提高光刻的分辨率。
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关于光学光刻，下列哪种方法可以获得高分辨率？? 使用移相掩膜技术制备的光刻版|光源为紫光|采取浸入式光刻方法|驻波效应对分辨率无影响
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中国大学MOOC: 下面哪些选项可以提高光刻技术的分辨率？（）
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浸入式光刻技术可以提高光刻的分辨率。 A: 正确 B: 错误