浸入式光刻技术可以使193nm光刻工艺的最小线宽减小到45nm以下。它通过采用折射率高的液体代替透镜组件间的空气,达到()的目的。
A: 增大光源波长;
B: 减小光源波长;
C: 减小光学系统数值孔径;
D: 增大光学系统数值孔径。
A: 增大光源波长;
B: 减小光源波长;
C: 减小光学系统数值孔径;
D: 增大光学系统数值孔径。
举一反三
- 可以采取哪种方法来提高光刻分辨率? A: 缩短光源波长; B: 减小光学系统数值孔径; C: 减小分辨率系数; D: 增长光源波长; E: 增大光学系统数值孔径; F: 增大分辨率系数。
- 提高光刻最小线宽可以通过减小光源波长实现。
- DVD-ROM光盘可存储17GB的信息,比普通CD-ROM光盘的存储容量(650MB)大。DVD-ROM光盘是通过()来提高存储容量的。 A: 减小读取激光波长,减小光学物镜数值孔径 B: 增大读取激光波长,增大光学物镜数值孔径 C: 增大读取激光波长,减小光学物镜数值孔径 D: 减小读取激光波长,增大光学物镜数值孔径
- 显微镜物镜的衍射分辨率与波长和数值孔径有关,提高显微镜的衍射分辨率,可以减小折射率,减小孔径角,增大波长。
- 提高数值孔径,可以__ A: 增大孔径角,增大物镜与标本间介质的折射率 B: 增大孔径角,减小物镜与标本间介质的折射率 C: 减小孔径角,增大物镜与标本间介质的折射率 D: 减小孔径角,减小物镜与标本间介质的折射率