提高投影式曝光分辨率的三种主要途径是()
A: 缩短曝光波长
B: 增大K系数
C: 减小K系数
D: 增大数值孔径
A: 缩短曝光波长
B: 增大K系数
C: 减小K系数
D: 增大数值孔径
举一反三
- 可以采取哪种方法来提高光刻分辨率？ A: 缩短光源波长； B: 减小光学系统数值孔径； C: 减小分辨率系数; D: 增长光源波长； E: 增大光学系统数值孔径； F: 增大分辨率系数。
- 提高显微镜分辨本领的途径有（ ）。 A: 缩短工作波长 B: 增大数值孔径，即增大孔径角U或加大物方折射率n C: 减小数值孔径 D: 增加工作波长
- 要提高显微镜的分辨本领，应该（ ）。 A: 增大数值孔径，增大入射光波长 B: 增大数值孔径，减小入射光波长 C: 减小数值孔径，减小入射光波长 D: 减小数值孔径，增大入射光波长
- 欲提高显微镜的分辨本领,应该 A: 增大数值孔径，增大入射光波长 B: 增大数值孔径，减小入射光波长 C: 减小数值孔径，减小入射光波长 D: 减小数值孔径，增大入射光波长
- 曝光波长的缩短可以使光刻分辨率线性提高，但同时会使焦深线性减小。如果增大投影物镜的数值孔径，那么在提高光刻分辨率的同时，投影物镜的焦深也会急剧减小，因此在分辨率和焦深之间必须折衷。